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微小氣體質量流量計選型

2025-06-12

選擇適合項目的微小氣體質量流量計時,需綜合考慮以下關鍵因素,以確保精度、可靠性和成本效益:
微小型氣體質量流量控制器


1. 流量范圍

  • 關鍵參數:確定項目所需的最小和最大流量(通常以sccm、slm或mL/min為單位)。

  • 建議:選擇量程覆蓋實際流量120%的型號,避免流量接近傳感器下限時精度下降。


2. 氣體類型與兼容性

  • 氣體特性:確認被測氣體的成分(單一/混合)、腐蝕性、濕度等。

  • 材料兼容性:流量計接觸氣體的部件(如傳感器、密封件)需耐腐蝕(如不銹鋼、鎳基合金、特殊涂層)。

  • 校準氣體:若實際氣體與校準氣體不同(如用氮氣校準但測量氫氣),需進行修正或重新校準。


3. 精度與重復性

  • 精度要求:通常為滿量程的±1%~±2.5%,高精度應用(如半導體)需±0.5%或更高。

  • 重復性:短期波動小的流量計更適合過程控制。


4. 響應時間

  • 動態需求:快速變化流程(如呼吸機、脈沖噴射)需毫秒級響應;穩態流程可放寬。


5. 壓力與溫度條件

  • 耐壓范圍:確認入口壓力是否超限(如高壓需特殊設計)。

  • 溫度影響:極端溫度可能影響傳感器性能,需溫度補償或隔熱設計。


6. 輸出信號與接口

  • 信號類型:模擬(4-20mA、0-10V)或數字(RS485、Modbus、CAN總線)。

  • 集成需求:需與PLC、DAQ系統兼容,或支持定制協議。


7. 安裝環境

  • 空間限制:緊湊空間選擇直管式或微型設計。

  • 振動/EMI:工業環境需抗干擾設計,如屏蔽電纜或加固外殼。


8. 法規與認證

  • 行業標準:醫療(ISO 13485)、防爆(ATEX)、食品(FDA)等。

  • 安全認證:CE、UL、RoHS等。


9. 維護與壽命

  • 長期穩定性:避免頻繁校準(如熱式可能因污染漂移,需定期清潔)。

  • 易維護性:模塊化設計或自診斷功能可降低停機時間。


10. 成本權衡

  • 預算分配:高精度科里奧利流量計成本較高,熱式或差壓式更經濟。

  • TCO考量:包括校準、能耗、備件費用。


常見類型對比

類型 優勢 局限 典型應用
熱式氣體質量流量計 高精度、響應快 對氣體成分敏感 實驗室、半導體
差壓式流量計 結構簡單、成本低 需穩壓、精度較低 工業過程控制
科里奧利流量計 直接質量測量、多氣體適用 體積大、價格高 化工、制藥
層流式流量計 中等精度、線性輸出 需過濾顆粒物 醫療設備、環保監測

推薦步驟

  1. 明確需求清單:列出流量、氣體、精度等硬性指標。

  2. 篩選供應商:艾絲特、Sierra Instruments、Bronkhorst、MKS等。

  3. 測試驗證:索取樣品進行實際氣體測試,評估長期穩定性。

  4. 售后支持:確認校準服務、技術支持的可用性。

想了解更多流量計相關信息或者流量計選型,可咨詢艾絲特流量計廠家技術客服:180 1926 2426(微信同號)獲取幫助。

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